高純電子化學(xué)品潔凈度判定方法

高純電子化學(xué)品是大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路 ( IC)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料，在清洗、光刻 、蝕刻和去膠等許多工序都要使用，它的純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率 、電性能及可靠性有著十分重要的影響。由于半導(dǎo)體元件越來越小，集成度越來越高 ,超大規(guī)模集成電路可在 30 mm ×30 mm 的芯片上集成上千萬個(gè)元件，工藝技術(shù)的精密度非常高，而且IC產(chǎn)品更新?lián)Q代速度極 快 ，三年即為一代，也就是說一代IC制作技術(shù)需要一代的高純電子化學(xué)品與之配套 ,因此對(duì)高純電子化學(xué)品質(zhì)量要求越來越高。

PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器采用英國(guó)普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對(duì)清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測(cè)和分析，目前是英國(guó)普洛帝分析測(cè)試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測(cè)領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。

PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器有在線和離線兩種模式，可以對(duì)高純電子化學(xué)品的潔凈度進(jìn)行判定。